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寶帝burkert流體精準調控,半導體制造的 “隱形助手”

更新時間:2025-06-09      點擊次數:49


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半導體制造中使用液態、氣態、超純至高腐蝕性流體。這包括超純水、液態冷卻介質,還包括酸或堿,例如氫氟酸、鹽酸或硫酸以及氫氧化鈉溶液或溶劑。各種液體特性(例如溫度、流量、電導、pH 值)的精準測量和調控對于半導體制造至關重要。













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